- 8 (800) 775-XX-XX Показать номер
Система диффузионная однозонная многотрубная, СДОМ
Актуальные цены и наличие товара уточняйте, пожалуйста, у менеджеров компании.
- 8 (800) 775-XX-XX Показать номер
- Наличный расчет
- Безналичный расчет
- Кредит
- Лизинг
-
Транспортная компания
-
Автопарк компании
Подробности у менеджеров компании.
Описание
Назначение: Система предназначена для автоматической групповой газотермической прецизионной обработки пластин кремния диаметром 100 мм при производстве изделий полупроводниковой электроники.
Тип печи: Трехтрубная (двухтрубная) газонаполненная электропечь периодического действия с однозонным прецизионным регулированием температуры и горизонтально-расположенным загрузочным устройством.
Основные преимущества:
Устройство загрузочное
Электропечь диффузионная однозонная (двухтрубная/трехтрубная)
Устройство газораспределения
Устройство программного управления
Наименование параметра Значение
Диапазон рабочих температур в тепловой зоне реактора, °С
700-1300
Количество реакторов (труб), шт
2 (для СД.ОМ-2/100-2М)
3 (для СД.ОМ-3/100-2М)
Диаметр кварцевого реактора (трубы), мм, не более
150
Диаметр обрабатываемых пластин, мм, не более
100
Длина рабочей тепловой зоны, мм, не менее
600
Нестабильность поддержания температуры по опорной точке в пределах длины рабочей тепловой зоны при статическом режиме в реакторе (среднеквадратическое отклонение) в течение 24 часов, °С, не более 0,25
Максимальная потребляемая электрическая мощность, кВт, не более 100 Более подробную информацию о товаре вы можете уточнить у менеджеров компании. Мы всегда рады проконсультировать вас.
Контакты ЭлМедиа Групп
- 8 (800) 775-XX-XX Показать номер
- Наличный расчет
- Безналичный расчет
- Кредит
- Лизинг
-
Транспортная компания
-
Автопарк компании
Подробности у менеджеров компании.
